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中圖儀器VT6000系列激光掃描共聚焦顯微鏡?在材料生產(chǎn)領(lǐng)域中，是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

中圖儀器激光掃描共聚焦顯微鏡技術(shù)集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺(tái)平移、Z向聚焦等測(cè)量前工作。結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量。

以共聚焦技術(shù)為原理的VT6000光學(xué)共聚焦掃描顯微鏡，是用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。儀器基于共聚焦顯微技術(shù)，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，可以對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量。

中圖儀器VT6000共聚焦激光掃描顯微鏡主要采用3D捕獲的成像技術(shù)，通過數(shù)碼相機(jī)針孔的高強(qiáng)度激光來(lái)實(shí)現(xiàn)數(shù)字成像，具有很強(qiáng)的縱向深度的分辨能力；以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和3D重建算法，共同組成測(cè)量系統(tǒng)。能測(cè)各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

VT6000共聚焦顯微鏡高度測(cè)量精度≤(0.2+L/100)μm，重復(fù)性≤12nm，可精準(zhǔn)捕捉臺(tái)階、曲率、平面度等核心幾何參數(shù)；寬度測(cè)量精度±2%，重復(fù)性≤40nm，清晰還原微小輪廓的尺寸細(xì)節(jié)。