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WD4000晶圓薄膜厚度測(cè)量設(shè)備亞納米級(jí)精準(zhǔn)量測(cè)，解決半導(dǎo)體工藝中薄膜厚度測(cè)量中面臨的”傳統(tǒng)設(shè)備分辨率低，無法捕捉納米級(jí)薄膜厚度變化“”硬質(zhì)探針接觸測(cè)量易劃傷碳化硅、藍(lán)寶石等精密晶圓表面“”多層/特殊晶圓適配難“等測(cè)量難題。

WD4000晶圓高精度厚度測(cè)量設(shè)備可測(cè)各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的厚度、粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，實(shí)現(xiàn)砷化鎵、氮化鎵、磷化鎵、鍺、磷化銦、鈮酸鋰、藍(lán)寶石、硅、碳化硅、玻璃不同材質(zhì)晶圓的量測(cè)。

WD4000中圖儀器晶圓測(cè)量設(shè)備可廣泛應(yīng)用于襯底制造、晶圓制造、及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、顯示面板、MEMS器件等超精密加工行業(yè)?？蓽y(cè)各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面.

中圖半導(dǎo)體晶圓測(cè)量?jī)x品牌通過非接觸測(cè)量，將晶圓的三維形貌進(jìn)行重建，強(qiáng)大的測(cè)量分析軟件穩(wěn)定計(jì)算晶圓厚度，TTV，BOW、WARP、在高效測(cè)量測(cè)同時(shí)有效防止晶圓產(chǎn)生劃痕缺陷。

WD4000中圖儀器無圖晶圓幾何測(cè)量系統(tǒng)兼容不同材質(zhì)不同粗糙度、可測(cè)量大翹曲wafer、測(cè)量晶圓雙面數(shù)據(jù)更準(zhǔn)確。它通過非接觸測(cè)量，將晶圓的三維形貌進(jìn)行重建，強(qiáng)大的測(cè)量分析軟件穩(wěn)定計(jì)算晶圓厚度，TTV，BOW、WARP、在高效測(cè)量測(cè)同時(shí)有效防止晶圓產(chǎn)生劃痕缺陷。

?WD4000晶圓BOW值彎曲度測(cè)量系統(tǒng)可測(cè)各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的厚度、粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，實(shí)現(xiàn)砷化鎵、氮化鎵、磷化鎵、鍺、磷化銦、鈮酸鋰、藍(lán)寶石、硅、碳化硅、玻璃不同材質(zhì)晶圓的量測(cè)。